真空釬焊爐是熱處理的大型設備,能夠進行真空釬焊、真空退火、真空時效等多種加工??删幎鄠€不同程序,能控制和編入上百個熱處理曲線點,分上、下、左右、前后六區(qū)控溫,有多點和單點溫度記錄儀以及過溫保護裝置,爐溫均勻性可控制在恒定溫度范圍以內,另配有高純氮高流量強冷裝置。
設備真空系統(tǒng)主要由真空室、泵系統(tǒng)和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統(tǒng)由機械泵、維持泵、羅茨泵、擴散泵等構成。閥門包括前級閥(碟閥)、旁路閥(碟閥)、維持泵閥(碟閥)和高閥(板閥)組成,各閥門均為氣動閥,由PLC控制氣動閥進行控制。加熱室主要由不銹鋼加熱室殼體、不銹鋼反射屏、加熱器、陶瓷絕緣件、水冷電極、爐床等組成。
真空釬焊爐運行時,首先啟動機械泵、維持泵和擴散泵(加熱),同時打開前級閥和維持泵閥,對擴散泵內進行抽真空。當真空度達到系統(tǒng)某一設定值時,羅茨泵啟動,同時旁路閥打開,前級閥關閉,此時對真空室進行抽低真空當擴散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時,高閥打開,旁路閥關閉,前級閥打開。此時對真空室抽高真空,達到工藝要求的真空度以后,方可進行熱處理工作。熱加工過程完成后,由熱交換器對真空室充入高純氮氣進行強制冷卻,完成整個工藝過程。